浙江大学信息与电子工程学院光电子集成芯片研究组目前建有电学实验室和光学实验室。实验室具有完备的半导体光电子器件软件仿真平台、一流的光电子芯片和器件测试系统，同时依托浙江大学校级微纳加工中心可以完成半导体光电子器件的材料生长、制作与封装工艺 。

 

软件仿真平台  

实验室拥有多台联想高性能仿真服务器，服务器典型配置包括2颗20核CPU，384G内存。研究组使用多种光电子器件开发软件，包括R-Soft、Lumerical、HFSS、Tanner L-edit、COMSOL、Cadence等电学、光学及工艺仿真软件，并与部分软件厂家建立了合作关系。高性能仿真服务器硬件平台和完备的光电仿真软件平台为光电子器件设计和优化工作提供了充足的软硬件条件保障。

 

器件测试系统  

实验室拥有全套光电子芯片及器件测试平台，包括激光器系统、时频域测量系统、信号产生与调制系统以及射频测试系统，主要设备仪器包括：  

1) 激光器系统  

Santec C+L波段波长可调激光器、低噪声光纤放大器、高功率光纤放大器， Santec O波段波长可调激光器、O波段光放大器、带宽/波长可调滤波器、多通道光功率测量仪等。  

2) 时频域测量系统  

Yokokawa光谱分析仪、R&S 40GHz频谱分析仪、40GHz矢量网络分析仪、实时示波器、Tektronix 80GHz 光/电数字串行分析采样示波器等。  

3) 信号产生与调制系统  

SHF高速数字码型信号发生器、40GHz C/O波段电光调制器、40GHz光电探测器、光偏振态合成与分析仪等。  

4) 射频测试系统  

60GHz微波带宽放大器，直流偏置器、射频信号电缆、高频GSG探针及校准件等。  

        

微纳光学芯片耦合测试系统 

50nm分辨率5维光纤垂直耦合测试平台，2nm分辨率6维光纤水平耦合测试平台，可见/红外光一体化观测系统，光纤芯片对准封装平台等。  

微纳加工平台 

研究组的器件加工依托于浙江大学校级公共科研实验平台-微纳加工中心。 该中心由信息与电子工程学院管理运营。中心建筑面积1200m2，净化面积1000m2。拥有分子束外延（MBE）、等离子体增强化学的气相沉积（PECVD）法等材料生长设备，高性能电子束曝光（EBL）系统、双面光刻、激光直写等刻蚀设备，以及电子束蒸发、真空镀膜等蒸镀设备。同时，研究组与新加坡微电子研究所等国际国内主流器件代工制造商长久保持良好的合作关系，为研究组光电子器件的制作提供了保障。